在真空状态下，将工件置于低气压辉光放电的阴极上，通入适当气体，在一定温度下利用化学反应和等离子相结合的离化聚合过程，在工件表面获得涂层，而气相物质吸收于工件表面并互相反应，最后形成固相薄膜沉积在工件表面。
特点：
低温成膜，温度对工件影响少，避免了高温成膜的晶粒粗大，膜层不易脱落；
可镀制厚膜，膜层成分均匀， 阻隔效果好、致密、内应力小、不易产生微裂纹；
等离子体工件有清洗作用，增加了膜层的附着力。
设备主要用于在PET, PA, PP等薄膜材料镀制SiOx高阻隔层；已广泛应用于医疗/医药用品包装、电子元器件及食品包装，也可用于饮料、油脂食品、食用油的包装容器。膜层具有极好的阻隔性、环境适应性、高微波透过性、透明性，几乎不受环境湿度和温度变化的影响，解决了传统包装材料可能带来健康影响的问题。
